统称:GC特气柜
分类:手持特气柜、全自动特气柜;
名称:手持特气柜;
规格:单瓶、双瓶、三瓶、混合可选工艺气瓶,手动
(1)基础配置
■氦检报告
■手动操作
■高压测漏功能
■单工艺瓶供气
■带自清洁功能
■4寸排风口及阀门
■配置吹扫抽真空功能
■带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳
(2)可选配置
■喷淋头
■带加热盘面
■高温探测警
■烟雾感应器
■配置电子磅秤
■配置 UV/IR火焰探测器
■前端0.1μ过滤器,后端0.001μ终端过滤器
(3)适用气体
燃爆性气体,如氢气(H2), 一氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等,毒腐性气体,如二氧化硫(SO2)、硫化氢(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氢(HCL)等
4)应用行业
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业
名称:全自动特气柜
规格:单瓶、双瓶、三瓶、混合可选工艺气瓶,全自动
(1)基础配置
■氦检报告
■三色塔灯
■防爆电控箱
■高压测漏功能
■带自清洁功能
■4寸排风口及阀门
■所有阀门使用气动阀
■单工艺瓶自动供气
■防爆外柜,烤漆或不锈钢外壳包覆
■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗
■实现人气分离的全自动触摸屏操作(外吹扫、抽真空,自动紧急远程切断、事故报警,高压保压钢瓶接头测漏,泄漏报警对 接,通风出口等)
(2)可选配置
■喷淋头
■带加热盘面
■高温探测报警
■配置电子磅秤
■配置 UV/IR,喷淋头,高温,烟感应
■前端0.1μ过滤器,后端0.001μ终端过滤器
■为保证安全,所有阀门管件须使用美国Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌
(3)适应气体
燃爆性气体,如氢气(H2), 一氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等,毒腐性气体,如二氧化硫(SO2)、硫化氢(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氢(HCL)等
(4)应用行业
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。